удк 621.38-022.532 in-situ пассивация нитридных гетероструктур ...

осаждения пассивирующего слоя. Ключевые слова: транзисторы с высокой подвижностью электронов, GaN, in- situ пассивация, диффузия кремния.

удк 621.38-022.532 in-situ пассивация нитридных гетероструктур ... - Sorodni dokumenti